北京華卓精科科技股份有限公司(證券簡稱“華卓精科”,證券代碼834733)由清華大學IC裝備團隊在清華大學及其下屬“北京-清華工業技術研究院”和國家科技重大專項02重大專項的支持下創立,是一家肩負著專項重大科研成果產業化重任的高新技術企業,是國內第一個成功研制出光刻機雙工件臺的高科技企業。
公司自2012年成立以來,主營集成電路高端整機、超精密運動系統、精密儀器設備和高端特種制造,現已經成功推出隔振、超精密運動系統、激光退火設備、晶圓堆疊設備等集成電路裝備及關鍵零部件。公司已獲得100余項國內利。
公司現有員工260多人,其中技術和研發人員占比75%,博士20余人,碩士研究生80余人。
2019年9月,占地30余畝的亦莊園區投入使用,園區建筑面積45000平米,總投資4.9億元,建有千級潔凈間、萬級潔凈間、地下負18米世界頂級的光學精密實驗室、生產車間、員工食堂、宿舍。